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[公開特許出願] 酸化膜ストレス緩和方法及びその方法を用いた酸化膜構成体

2003-07-25. 特開2003209107号 (Google Patents) , 特許3864213号

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:44:47 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:47 +0900

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