HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 窒化チタン薄膜熱電半導体の製造方法2016-10-13. 特開2016181571号 (Google Patents) , 特許6474078号NIMS著者森 孝雄徐 一斌後藤 真宏作成時刻 :2023-07-22 21:45:49 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:49 +0900