HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 機械式コンビナトリアルイオン注入装置2003-11-21. 特開2003332256号 (Google Patents) , 特許4257404号NIMS著者坂口 勲羽田 肇作成時刻 :2023-07-22 21:44:49 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:49 +0900