HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 光の回折方法および回折装置、これらに用いる回折格子、ならびに位置エンコーダ装置2005-01-13. CN1816759 (Google Patents) EP1640751 (Google Patents) US 2005003823 A1 (Google Patents) WO 2005003823 A1 (Google Patents) USO 2005003823 A1 (Google Patents) NIMS著者宮崎 英樹作成時刻 :2023-07-22 21:45:03 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:03 +0900
