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[公開特許出願] 金属イオンでドープされた六方晶窒化ホウ素膜とその作製方法、および六方晶窒化ホウ素膜を有する半導体素子と電子デバイス

2024-08-21. 特開2024112751号 (Google Patents)

NIMS著者


作成時刻 :2024-08-23 03:15:53 +0900 更新時刻 :2024-08-23 03:15:53 +0900

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