HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] プラズマキャビティ用フランジ、プラズマキャビティ及びプラズマＣＶＤ装置2016-01-28. 特開2016015429号 (Google Patents) , 特許6341565号NIMS著者小泉 聡作成時刻 :2023-07-22 21:45:46 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:46 +0900
