HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 減速集束イオンビーム堆積装置1996-09-17. 特開H08241691号 (Google Patents) , 特許2945952号NIMS著者知京 豊裕作成時刻 :2023-07-22 21:44:33 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:33 +0900
