HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 酸化ランタンからなるセラミックス材料、その製造方法、それを用いたターゲット、および、それを用いた半導体装置2017-06-22. 特開2017109916号 (Google Patents) NIMS著者坂口 勲安達 裕作成時刻 :2023-07-22 21:45:53 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:53 +0900
