HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 真空容器内壁表面の改質方法2004-05-13. 特開2004137522号 (Google Patents) , 特許3864225号NIMS著者笠原 章後藤 真宏土佐 正弘作成時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900
