HOME > Published patent applications > Detail[Published patent application] ホウ素添加酸化亜鉛薄膜からなる低摩擦コーティングおよびマイクロマシン2018-04-11. EP3305939 (Google Patents) US2018155183 (Google Patents) NIMS author(s)GOTO, MasahiroSASAKI, MichikoCreated at :2023-07-22 21:45:54 +0900 Updated at :2023-07-22 21:45:54 +0900