HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] シリコン（Ｓｉ）系ナノ構造材料及びその製造方法2016-04-07. 特開2016047785号 (Google Patents) , 特許6367652号NIMS著者深田 直樹作成時刻 :2023-07-22 21:45:47 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:47 +0900
