HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] イオンビーム発生方法とそれを実施する為のイオンビーム発生装置2008-06-12. 特開2008135309号 (Google Patents) , 特許5051634号NIMS著者山内 泰鈴木 拓作成時刻 :2023-07-22 21:45:14 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:14 +0900