HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 基板上に形成させたＭｏＢＮ膜の表面に窒化ボロンを析出させた積層材料の製造方法1986-08-28. 特開S61194171号 (Google Patents) , 特許1467158号NIMS著者土佐 正弘羽多野 毅作成時刻 :2023-07-22 21:44:17 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:17 +0900
