HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 絶縁膜材料、この絶縁膜材料を用いた成膜方法および絶縁膜2010-03-18. 特開2010062218号 (Google Patents) , 特許5505680号NIMS著者田島 暢夫作成時刻 :2023-07-22 21:45:24 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:24 +0900
