HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 酸素添加ScN結晶薄膜、その製造方法、電極及び電子デバイス2015-03-16. 特開2015048252号 (Google Patents) , 特許6226457号NIMS著者坂口 勲大垣 武大橋 直樹作成時刻 :2023-07-22 21:45:43 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:43 +0900