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[公開特許出願] 酸素添加ScN結晶薄膜、その製造方法、電極及び電子デバイス

2015-03-16. 特開2015048252号 (Google Patents) , 特許6226457号

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:45:43 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:43 +0900

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