HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 遷移金属カルコゲナイド層状膜の形成方法およびそのための装置2022-03-09. 特開2022037889号 (Google Patents) , 特許7656914号NIMS著者佐久間 芳樹作成時刻 :2023-07-22 21:46:14 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:46:14 +0900