HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 半導体装置用固体基板、固体基板の製造方法、および固体装置の製造方法2024-01-25. 特開2024011530号 (Google Patents) , 特許7807805号NIMS著者寺地 徳之作成時刻 :2024-01-27 03:11:47 +0900 更新時刻 :2024-01-27 03:11:47 +0900
