HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 絶縁膜材料、この絶縁膜材料を用いた成膜方法および絶縁膜2009-09-16. WO2009093581 (Google Patents) CN101925690 (Google Patents) US20110130584 (Google Patents) TW200938654 (Google Patents) 200938654 (Google Patents) NIMS著者田島 暢夫作成時刻 :2023-07-22 21:45:28 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:28 +0900