HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 絶縁膜材料、この絶縁膜材料を用いた成膜方法および絶縁膜2010-05-01. CN102138205 (Google Patents) 201016710 (Google Patents) US20110159212 (Google Patents) WO2010023964 (Google Patents) TW201016710 (Google Patents) USS20110159212 (Google Patents) NIMS著者田島 暢夫作成時刻 :2023-07-22 21:45:29 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:29 +0900