HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 集束イオンビーム装置を用いたジョセフソン素子製造方法及びその装置2004-02-26. 特開2004063576号 (Google Patents) NIMS著者宇治 進也作成時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900