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[公開特許出願] 集束イオンビーム装置を用いたジョセフソン素子製造方法及びその装置

2004-02-26. 特開2004063576号 (Google Patents)

NIMS著者


作成時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:44:48 +0900

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