HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] 薄膜のヤング率相当の機械特性の測定方法とそれに用いる装置2008-09-18. 特開2008216021号 (Google Patents) , 特許4930940号NIMS著者板倉 明子作成時刻 :2023-07-22 21:45:17 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:17 +0900