HOME > 公開特許出願 > 書誌詳細[公開特許出願] GaN単結晶成長方法及びGaN単結晶成長装置2019-02-07. 特開2019019040号 (Google Patents) , 特許6631813号NIMS著者川村 史朗作成時刻 :2023-07-22 21:45:56 +0900 更新時刻 :2023-07-22 21:45:56 +0900