HOME > Published patent applications > Detail[Published patent application] 自己組織単分子膜をからなるステンシルマスクおよびステンシルマスクを用いる微細加工方法2003-11-25. 2003334489 (Google Patents) , 3924610NIMS author(s)ITAKURA, AkikoCreated at :2023-07-22 21:44:48 +0900 Updated at :2023-07-22 21:44:48 +0900