LPE技術を用いた透明/平坦性に優れたGaN結晶成長技術
(Development of growth techniques of large diameter GaN substrates using Liquid Phase Epitaxy (LPE).)
NIMS著者
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作成時刻: 2020-11-20 10:39:07 +0900 更新時刻: 2020-11-20 10:39:07 +0900