真空紫外光照射を用いた有機/無機基板材料の大気圧低温混載接合
(VUV and vapor-assisted bonding at low temperature for creating hybrid materials in ambient air)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 14:13:17 +0900更新時刻: 2022-09-05 14:13:17 +0900