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In-situ TEM observation of silicide formation and dopant segregation in Ni fully silicided gates

Takuji Hosoi, Kentaro Shibahara, HASEGAWA, Akira, FURUYA, Kazuo.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻: 2022-09-05 12:02:41 +0900 更新時刻: 2022-09-05 12:02:41 +0900

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