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著者名寺地 徳之, 有馬一也, 和田英樹, 伊藤利道.
タイトル高出力マイクロ波プラズマCVD法による高品質ボロンドープダイヤモンド薄膜の合成
(NA)
掲載誌名NEW DIAMOND 21 [2] 22-23
出版社
出版年2005
言語Japanese

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