Siナノ細線への熱酸化応力誘起とフォノン閉じ込め効果
(Introduction of stress and phonon confinement in thermally oxidized silicon nanowires)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 11:55:42 +0900更新時刻: 2022-09-05 11:55:42 +0900