単体元素と遷移金属シリサイドのスパッタ速度
(Sputtering rate of some transition metal silicides; comparison with that of elements)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2020-11-20 10:45:03 +0900 更新時刻: 2020-11-20 10:45:03 +0900