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イオン注入熱酸化法による酸化ナノ粒子の形成と発光素子および光変調素子への応用可能性
(Oxide nanoparticles for optical applications fabricated by ion implantation and thermal oxidation)

著者雨倉 宏.
掲載誌名Annual Report of The Murata Science Foundation 24 533-541
出版社
出版年2010
言語Japanese

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