HOME > Misc > Detailフィルターや真空封止部のリーク箇所を可視化する板倉 明子. クリーンテクノロジー（日本工業出版） 35 [10] 70-75. 2025.NIMS author(s)ITAKURA, AkikoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2026-02-06 03:06:40 +0900 Updated at: 2026-02-06 03:06:40 +0900
