HOME > その他の文献 > 書誌詳細Low-Temperature Homo/Heterogeneous Bonding in Ambient Air for Future 3D-TSV(3D-TSVを指向した低温大気圧での異種材料混載接合)SHIGETOU, Akitsu. 7th SEMATECH Symposium 5-14. 2011.NIMS著者重藤 暁津Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 13:22:14 +0900更新時刻: 2022-09-05 13:22:14 +0900