異なる堆積条件のナノ構造(Ti-Hf-Zr-V-Nb)N膜の微細構造、物理および化学的性質

A.D. Pogrebnjak; I.V. Yakushchenko; A.A. Bagdasaryan; O.V. Bondar; R. Krause-Rehberg; G. Abadias; P. Chartier; K. Oyoshi; Y. Takeda; V.M. Beresnev; O.V. Sobol

doi:10.1016/j.matchemphys.2014.06.062

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Microstructure, physical and chemical properties of nanostructured (Ti–Hf–Zr–V–Nb)N coatings under different deposition conditions
(異なる堆積条件のナノ構造(Ti-Hf-Zr-V-Nb)N膜の微細構造、物理および化学的性質)

A.D. Pogrebnjak, I.V. Yakushchenko, A.A. Bagdasaryan, O.V. Bondar, R. Krause-Rehberg, G. Abadias, P. Chartier, K. Oyoshi, Y. Takeda, V.M. Beresnev, O.V. Sobol.

Materials Chemistry and Physics 147 [3] 1079-1091. 2014.

https://doi.org/10.1016/j.matchemphys.2014.06.062

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作成時刻: 2016-05-24 17:33:18 +0900更新時刻: 2024-04-02 03:30:57 +0900

Microstructure, physical and chemical properties of nanostructured (Ti–Hf–Zr–V–Nb)N coatings under different deposition conditions(異なる堆積条件のナノ構造(Ti-Hf-Zr-V-Nb)N膜の微細構造、物理および化学的性質)

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Microstructure, physical and chemical properties of nanostructured (Ti–Hf–Zr–V–Nb)N coatings under different deposition conditions
(異なる堆積条件のナノ構造(Ti-Hf-Zr-V-Nb)N膜の微細構造、物理および化学的性質)