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4H-SiC中の転位組織の放射光トポグラフによる解析

松畑 洋文, 山口 博隆, 関口 隆史, 陳 斌, 佐々木 雅之, 大野 俊之, 鈴木 拓馬, 畠山 哲夫, 辻 崇, 米澤 喜幸, 荒井 和雄.
電気学会論文誌. A 135 [12] 768-779. 2015.

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      Created at: 2016-05-24 18:01:05 +0900Updated at: 2024-04-01 17:42:03 +0900

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