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Nickel silicide electrodes pattern fabricated by resistless electron-beam lithography process

H-Y.Sheng, FUJITA, Daisuke, 大木泰造, 岡本洋, 根城均.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2022-09-05 10:49:36 +0900 更新時刻 :2022-09-05 10:49:36 +0900

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