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Silicon Micro/Nanofabrication Using Metastable Helium Atom Beam Lithography

Z. P. Wang, M. Kurahashi, T. Suzuki, Z. J. Ding, Y. Yamauchi.

NIMS著者


    Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


      作成時刻 :2016-05-24 16:02:44 +0900 更新時刻 :2022-09-05 12:23:30 +0900

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