Interaction of Boron and Phosphorus Impurities in Silicon Nanowires during Low-Temperature Ozone Oxidation
(低温酸化過程でのSiナノワイヤ中のボロンおよびリンの相互作用)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 17:10:37 +0900 更新時刻: 2026-10-08 05:30:51 +0900