コンビナトリアル誘電体試料の高速評価のための走査型マイクロ波顕微鏡の開発

Noriaki Okazaki; Hiroyuki Odagawa; Yasuo Cho; Toshihiko Nagamura; Daisuke Komiyama; Takashi Koida; Hideki Minami; Parhat Ahmet; Tomoteru Fukumura; Yuji Matsumoto; Masashi Kawasaki; Toyohiro Chikyow; Hideomi Koinuma; Tetsuya Hasegawa; Noriaki Okazaki; Hiroyuki Odagawa; Yasuo Cho; Toshihiko Nagamura; Daisuke Komiyama; Takashi Koida; Hideki Minami; Parhat Ahmet; Tomoteru Fukumura; Yuji Matsumoto; Masashi Kawasaki; Toyohiro Chikyow; Hideomi Koinuma; Tetsuya Hasegawa

doi:10.1016/s0169-4332(01)01013-3

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Development of scanning microwave microscope with a lumped-constant resonator probe for high-throughput characterization of comb
(コンビナトリアル誘電体試料の高速評価のための走査型マイクロ波顕微鏡の開発)

Noriaki Okazaki, Hiroyuki Odagawa, Yasuo Cho, Toshihiko Nagamura, Daisuke Komiyama, Takashi Koida, Hideki Minami, Parhat Ahmet, Tomoteru Fukumura, Yuji Matsumoto, Masashi Kawasaki, Toyohiro Chikyow, Hideomi Koinuma, Tetsuya Hasegawa.

Applied Surface Science 189 [3-4] 222-226. 2002.

https://doi.org/10.1016/s0169-4332(01)01013-3

NIMS著者

知京豊裕

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2016-05-24 11:53:58 +0900 更新時刻: 2026-10-03 05:19:55 +0900

Development of scanning microwave microscope with a lumped-constant resonator probe for high-throughput characterization of comb(コンビナトリアル誘電体試料の高速評価のための走査型マイクロ波顕微鏡の開発)

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

Development of scanning microwave microscope with a lumped-constant resonator probe for high-throughput characterization of comb
(コンビナトリアル誘電体試料の高速評価のための走査型マイクロ波顕微鏡の開発)