HOME > 論文 > 書誌詳細Bimorph-Type Microactuator Using Ti-Ni Shape Memory Thin Film(Ti-Ni形状記憶合金薄膜を用いたバイモルフ型マイクロアクチュエータ)ISHIDA, Akira, SATO, Morio, 吉川弥, 田畑修, 吉川弥, 田畑修. MATERIALS SCIENCE FORUM 487-490. 2002.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-11-15 00:40:11 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:40:11 +0900
