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著者名寺地 徳之.
タイトル超高純度ホモエピタキシャル ダイヤモンド膜 ─極微量不純物と欠陥の検出・可視化─
掲載誌名NEW DIAMOND 32 [2] 34-38
出版社
発表年2016
言語Japanese

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