マグネトロンスパッタによるMo上のカーボン過剰TixC1-x膜の特性と構造
(Properities and structure of carbon Excess TixC1-x Deposited onto Molybdenum by Magnetron Sputtering)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:27:19 +0900更新時刻: 2018-12-15 00:36:08 +0900