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著者名荒木 弘, 藤塚正和, 福富勝夫, 新野仁, 岡田雅年.
タイトルProperities and structure of carbon Excess TixC1-x Deposited onto Molybdenum by Magnetron Sputtering
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掲載誌名Thin Solid Films 106 185
ISSN: 00406090
発表年1983
言語unknown
ESIでのカテゴリMATERIALS SCIENCE

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