HOME > 論文 > 書誌詳細Initial Plasma Oxidation Kinetics of Silicon :Dc Bias Effects(シリコンの初期プラズマ酸化の速度論：DC バイアス効果)KITAJIMA, Masahiro, 中村一隆, 河辺隆也, 上岡功. The Solid Films 98-101. 1996.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-11-15 00:39:06 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:39:06 +0900
