プラズマ酸化過程における表面応力の研究
(The Study on Silicon Surface Stress during Plaswa Oxidation )
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:40:03 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:11:47 +0900