活性化反応蒸着法により形成したZrCx皮膜の組織,構造おおび硬さ.
(Composition Structure and Hardness of ZrCx Films Formed by Activated Reactive Evaporation.)
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作成時刻: 2016-05-24 11:32:21 +0900更新時刻: 2018-12-15 00:50:36 +0900