Heガスを用いたBi2Sr2Can-1CunOyスパッタ薄膜の組成制御 | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Heガスを用いたBi2Sr2Can-1CunOyスパッタ薄膜の組成制御
(Phase Control of Bi2Sr2Can-1CunOy Sputtered Films using He Gas)

松本浩介, 小椋満, 葛原宏治, 岸田悟, 水谷剛, 吉川英樹, 福島　整, 徳高平蔵.

JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN (真空) 45 [3] 179-182. 2002.

NIMS著者

吉川英樹

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2016-05-24 12:00:16 +0900 更新時刻: 2018-12-15 01:33:48 +0900

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