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著者名Kazuhiro Kumagai, Takashi Sekiguchi.
タイトルSharing of secondary electrons by in-lens and out-lens detector in low-voltage scanning electron microscope equipped with immersion lens
掲載誌名Ultramicroscopy 109 4 368 372
ISSN: 03043991
発表年2009
言語English
DOI10.1016/j.ultramic.2009.01.005
ESIでのカテゴリCHEMISTRY
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