硫黄をドープしたCVDホモエピタキシャルダイヤモンド中の欠陥の性質

M. Hasegawa; M. Ogura; D. Takeuchi; S. Yamanaka; H. Watanabe; S. Ri; N. Kobayashi; H. Okushi; T. Sekiguchi; Mitsuru Hasegawa; M. Ogura; Daisuke Takeuchi; Sadanori Yamanaka; Hideyuki Watanabe; Shien Ri; Naoto Kobayashi; Hideyo Okushi; Takashi Sekiguchi; M. Hasegawa; M. Ogura; D. Takeuchi; S. Yamanaka; H. Watanabe; S. Ri; N. Kobayashi; H. Okushi; T. Sekiguchi; Mitsuru Hasegawa; M. Ogura; Daisuke Takeuchi; Sadanori Yamanaka; Hideyuki Watanabe; Shien Ri; Naoto Kobayashi; Hideyo Okushi; Takashi Sekiguchi

doi:10.4028/www.scientific.net/ssp.78-79.171

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Defect Characteristics in Sulfur-Implanted CVD Homoepitaxial Diamond
(硫黄をドープしたCVDホモエピタキシャルダイヤモンド中の欠陥の性質)

M. Hasegawa, M. Ogura, D. Takeuchi, S. Yamanaka, H. Watanabe, S. Ri, N. Kobayashi, H. Okushi, SEKIGUCHI, Takashi, Mitsuru Hasegawa, M. Ogura, Daisuke Takeuchi, Sadanori Yamanaka, Hideyuki Watanabe, Shien Ri, Naoto Kobayashi, Hideyo Okushi, Takashi Sekiguchi.

Solid State Phenomena 78-79 171-176. 2001.

https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.78-79.171

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Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2016-05-24 11:45:00 +0900 更新時刻: 2026-11-04 04:55:51 +0900

Defect Characteristics in Sulfur-Implanted CVD Homoepitaxial Diamond(硫黄をドープしたCVDホモエピタキシャルダイヤモンド中の欠陥の性質)

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Defect Characteristics in Sulfur-Implanted CVD Homoepitaxial Diamond
(硫黄をドープしたCVDホモエピタキシャルダイヤモンド中の欠陥の性質)