Characteristics of a Silicon Pressure Sensor in Superfluid Helium Pressurized up to 1.5 MPa
(1.5MPaまで加圧された超流動ヘリウム中のシリコン圧力センサーの特性)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:56:42 +0900 更新時刻: 2026-09-30 04:37:26 +0900