Pinning Effect of Fe(ClO) and Ti(ClO) Compounds on Cu Grain Growth in Very Narrow Cu Wires
(銅細線内の粒成長における鉄、チタンのピン止め効果)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 18:03:07 +0900更新時刻: 2024-04-01 18:36:29 +0900