Strains and cracks in undoped and phosphorus-doped {111} homoepitaxial diamond films
(アンドープおよびPドープ{111}エピタキシャルダイヤモンド薄膜の歪み評価)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 12:00:30 +0900更新時刻: 2025-03-12 04:32:21 +0900